Fricción interna de metales recubiertos con capas de TiN mediante PVD

La técnica de Fricción Interna (FI) y módulo elástico como métodos para la caracterización de recubrimientos e intercaras y su potencialidad en la determinación de la adhesión de la película al sustrato son presentados. Se realizaron mediciones de fricción interna en un péndulo de torsión invertido en el modo de decaimiento libre de las oscilaciones, en aceros recubiertos con películas duras de TiN. Las películas se obtuvieron por deposición física de vapor (PVD) mediante Magnetron Sputtering.

Internal Friction (IF) and Shear Modulus are presented as methods to determine the adhesion of thin film to substrate. Internal Friction measurements were carried out in AISI 304 coat with TiN obtained by PVD Magnetron Sputtering. The measurements of IF were performed in a low frequency torsion pendulum in the free vibration mode.

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Resumen

Inglés Internal Friction (IF) and Shear Modulus are presented as methods to determine the adhesion of thin film to substrate. Internal Friction measurements were carried out in AISI 304 coat with TiN obtained by PVD Magnetron Sputtering. The measurements of IF were performed in a low frequency torsion pendulum in the free vibration mode.

Español La técnica de Fricción Interna (FI) y módulo elástico como métodos para la caracterización de recubrimientos e intercaras y su potencialidad en la determinación de la adhesión de la película al sustrato son presentados. Se realizaron mediciones de fricción interna en un péndulo de torsión invertido en el modo de decaimiento libre de las oscilaciones, en aceros recubiertos con películas duras de TiN. Las películas se obtuvieron por deposición física de vapor (PVD) mediante Magnetron Sputtering.