Diseño de una superficie cónica en silicio cristalino

Presentamos el dise˜no de fabricaci´on de una superficie c´onica con k = ¡6:5. En un sustrato de silicio monocristalino, tomando como base la t´ecnica de grabado anisotr´opico con KOH. La superficie c´onica es aproximada mediante ventanas esf´ericas. Comparaciones entre di´ametro y separaci´on de las ventanas esf´ericas, as´ı como los par´ametros que rigen la elecci´on son discutidos.

A fabrication design of a conic surface (k = ¡6:5), in monocrystalline silicon substrate and based on anisotropic etching with KOH, is presented. The conical surface is approximated by means of spherical windows; comparisons between diameter and separation of the spherical windows, as well as the parameters that govern the selection are discussed.

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Resumen

Inglés A fabrication design of a conic surface (k = ¡6:5), in monocrystalline silicon substrate and based on anisotropic etching with KOH, is presented. The conical surface is approximated by means of spherical windows; comparisons between diameter and separation of the spherical windows, as well as the parameters that govern the selection are discussed.

Español Presentamos el dise˜no de fabricaci´on de una superficie c´onica con k = ¡6:5. En un sustrato de silicio monocristalino, tomando como base la t´ecnica de grabado anisotr´opico con KOH. La superficie c´onica es aproximada mediante ventanas esf´ericas. Comparaciones entre di´ametro y separaci´on de las ventanas esf´ericas, as´ı como los par´ametros que rigen la elecci´on son discutidos.